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引用

鲍敏杭

教授,博导

复旦大学 计算机应用技术

发表文献 66|文献被引 189| 指导论文 1

相关度 时间 被引 下载 CNKI为你找到相关结果

改进的一维纵向光声腔仿真模型  CNKI文献

依据光声传感器的原理,改进了传输线理论,引入与谐振腔相连接的腔室、管道所引起的非理想因素,提出了一种更为完善的LC等效电路模型。利用此模型完成一维光声腔结构参数的理论分析和计算,通过与以前的模拟结果和实际测...

姚伟 纪新明... 《压电与声光》 2010年03期 期刊

关键词: 一维纵向光声腔 / LC振荡电路 / 微机电系统(MEMS)

下载(119)| 被引(4)

DMMP在纳米分子筛敏感薄膜中的解吸附特性  CNKI文献

分子筛膜的脱附困难是制约纳米分子筛敏感膜传感器发展的主要技术瓶颈之一,传统的高温脱附和纯氮气吹洗的方法无法有效地使纳米分子筛膜得到再生。针对Silicalite—1,ZSM—5和Cu-ZSM—5 3种纳米分子筛,利用石英晶体微...

姚伟 纪新明... 《传感器与微系统》 2010年01期 期刊

关键词: 纳米分子筛 / 类神经毒气甲基磷酸二甲酯 / 吸附与脱附

下载(135)| 被引(2)

基于表面等离子体效应的MEMS红外辐射源特性研究  CNKI文献

研究了一种新型的基于二维光子晶体结构的表面等离子体共振SPR(Surface plasmon resonance)效应的红外辐射源,该辐射源基本结构为Si-SiO2(650nm)-Cr(100nm)-Au(800nm),并在Au表面刻蚀5μm的周期性排列的圆孔。设计加工...

王国勋 纪新明... 《传感技术学报》 2008年08期 期刊

关键词: 表面等离子体效应 / MEMS红外辐射源 / 光子晶体

下载(215)| 被引(3)

片上集成三电极体系微电极阵列的表征  CNKI文献

设计制作了片上集成三电极体系微电极阵列。工作电极分为圆形和方形两种,电极特征尺寸为100~900μm,工作电极与对电极间距为50~200μm。利用循环伏安法,在氧化还原电位探针二茂铁甲醇的作用下,对各三电极微系统进行了...

吕尊实 周嘉... 《微纳电子技术》 2007年Z1期 期刊

关键词: 微电极 / 表征 / 循环伏安法

下载(255)| 被引(6)

MEMS热激发红外脉冲光源  CNKI文献

设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较。测试结果显示,发射光谱带在2-4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20-40 Hz之间有较好的调制度。这些特性已经符合...

吴飞蝶 纪新明... 《光电子技术与信息》 2006年03期 期刊

关键词: 红外光源 / 发射率 / 气体传感器 / 辐射材料

下载(163)| 被引(4)

MEMS传感器性能提高相关技术研究  CNKI文献

在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感器技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料...

黄树森 李昕欣... 《仪表技术与传感器》 2003年01期 期刊

关键词: 微电子机械系统 / 微传感器 / 微执行器 / 微机械技术

下载(567)| 被引(12)

微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文)  CNKI文献

推导建立了一个用于微电子机械 (MEMS)器件压膜空气阻尼的一般化微分方程 .该方程很好地解决了分析有限尺寸孔板的边界和孔板的厚度对压膜阻尼的影响的困难 .结合边界条件求解该方程可以得到各种压膜阻尼结构中的阻尼...

鲍敏杭 孙远程... 《半导体学报》 2002年12期 期刊

关键词: 压膜空气阻尼 / 微电子机械器件 / 雷诺方程

下载(312)| 被引(11)

智能剥离SOI高温压力传感器  CNKI文献

采用改进的 RCA清洗工艺提高了硅片的低温键合质量 ,提出了一种积聚式缓慢退火剥离方法用于制备智能剥离 SOI (Silicon On Insulator)材料 ,并用该材料成功地研制了双岛 -梁 -膜结构的 SOI高温压力传感器 .对 SOI压力...

黄宜平 竺士炀... 《半导体学报》 2001年07期 期刊

关键词: SOI / 压力传感器 / 低温键合 / 智能剥离

下载(213)| 被引(12)

抗高过载微压传感器  CNKI文献

在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象。提出了应力匀散结构和两层岛的限位结构 ,利用有限元分析和近似解析分析 ,设计了新的...

尹颢 杨恒... 《传感器技术》 2001年04期 期刊

关键词: 微压传感器 / 过载能力 / 非线性 / 灵敏度

下载(206)| 被引(8)

低量程高线性压阻式微机械加速度传感器  CNKI文献

介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度,传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有横向效应进行了计算,结果表明此种结...

金虎 陆德仁... 《功能材料与器件学报》 2001年02期 期刊

关键词: 加速度传感器 / 压阻式 / 横向效应 / 空气阻尼

下载(164)| 被引(6)

测定硅各向异性腐蚀速率分布的新方法  CNKI文献

介绍了一种测定硅各向异性腐蚀速率分布的新方法 .硅各向异性腐蚀速率三维分布可由一系列晶面上的二维腐蚀速率分布表示 .利用深反应离子刻蚀技术 ( DRIE)在 {0 mn}硅片上制作出侧壁垂直于硅片表面的矩形槽 ,测量槽宽...

杨恒 鲍敏杭... 《半导体学报》 2000年05期 期刊

关键词: / 各向异性腐蚀 / KOH

下载(349)| 被引(15)

静电力作用下微机械结构的位移特性分析  CNKI文献

分析了在微机械传感器与执行器中常用的3种微机械结构在静电力作用下的静态位移特性,并对典型结构进行了数值计算。结果显示对质量块平动的双端固支梁岛结构在静电力作用下极板的最大平衡位移正好为无静电力时极板间...

杨恒 鲍敏杭... 《复旦学报(自然科学版)》 1999年03期 期刊

关键词: 微机械 / 静电驱动 / 传感器

下载(290)| 被引(18)

微机械加工技术发展概况(一)  CNKI文献

本文总结介绍了近年来国内外微机械加工技术的新发展,并讨论了微机械技术进一步发展的要求和发展趋势。

鲍敏杭 《仪表技术与传感器》 1998年05期 期刊

关键词: 微机械技术 / 传感器 / 执行器

下载(265)| 被引(11)

微机械加工技术发展概况(二)  CNKI文献

微机械加工技术发展概况(二)鲍敏杭复旦大学电子工程系,传感技术国家实验室上海市2002337表面平整化技术表面平整化技术是为大规模集成电路开发的一种工艺技术。它是利用化学机械抛光方法将因金属化加工而...

鲍敏杭 《仪表技术与传感器》 1998年06期 期刊

关键词: 微机械加工 / 平整化 / 微机械技术 / 化学机械抛光

下载(204)| 被引(6)

横向加速度传感器设计及特性研究  CNKI文献

一般微机械加工的梁──岛结构加速度传感器,梁的平面都是与器件平面平行的,因此只能测量器件平面法向的加速度分量.我们提出了一种制作梁平面与器件平面相垂直的梁──岛结构的微机械加工方法,并用以设计和制造了...

朱海军 陈宏... 《半导体学报》 1997年07期 期刊

关键词: 加速度传感器 / 微机械加工 / 过载传感器 / 力敏电阻

下载(139)| 被引(6)

硅压阻式加速度传感器的结构研究  CNKI文献

结合实际器件设计,对三种压阻式加速度传感器结构即双悬臂梁、四梁和双岛-五梁结构进行了详细的力学分析和特性比较,得到了理论计算的灵敏度、固有频率和阻尼等特性,器件的测试结果与理论计算值基本相符,目前三种...

陈宏 鲍敏杭... 《复旦学报(自然科学版)》 1996年05期 期刊

关键词: 加速度 / 传感器

下载(295)| 被引(11)

KOH溶液无掩膜腐蚀加工硅对称梁技术研究  CNKI文献

本文介绍了利用KOH腐蚀液对硅台阶、台面等三维结构进行无掩膜腐蚀的新技术.应用该技术可以制作出仅用常规各向异性腐蚀所无法形成的微机械结构,从而使腐蚀工艺的灵活性大为增加.通过分析与计算,给出了无掩膜腐...

李昕欣 鲍敏杭... 《半导体学报》 1996年06期 期刊

关键词: 掩膜版 / 电容 / 加速度传感器 / 中平面

下载(187)| 被引(10)

硅微加速度传感器过载能力的研究  CNKI文献

过载能力是加速度传感器的重要参数之一,缺少过载能力是早期硅微机械- 岛结构的加速度传感器未能实用的重要原因.本文采用微机械限位结构解决了梁-岛结构压阻式加速度传感器的抗过载能力,并对设计进行了优化.采用这种...

陈宏 沈绍群... 《传感技术学报》 1996年04期 期刊

关键词: 加速度传感器 / 过载能力

下载(182)| 被引(11)

微机械力敏传感器及其发展动向  CNKI文献

微机械加工技术的出现把传感器,特别是力敏传感器,推向一个新的发展阶段。微机械力敏传感器以其小型、廉价和集成化等优点已成为力敏传感器发展的主流。本文介绍微机械压力传感器、加速度传感器和微机械陀螺的现状及...

鲍敏杭 沈绍群 《电子科技导报》 1996年10期 期刊

关键词: 力敏传感器 / 陀螺 / 微机械 / 谐振式压力传感器

下载(162)| 被引(9)

论硅的各向异性腐蚀  CNKI文献

本文论述了用于固态传感制备的〈100〉和〈110〉晶向硅片各向异性腐蚀的特点和机理;对掩模图形边缘取向和(100)硅矩形台而凸角处的削角现象进行了探讨;对各种各向异性腐蚀剂的配方与性能进行了对比;并列腐蚀残留物成分...

吴宪平 鲍敏杭 《传感器技术》 1987年01期 期刊

关键词: 各向异性腐蚀 / 硅片 / 晶向 / 削角

下载(237)| 被引(7)

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