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引用

郭彤

副教授,硕导

天津大学 机械电子工程

发表文献 51|文献被引 196| 指导论文 5

相关度 时间 被引 下载 CNKI为你找到相关结果

基于原子力显微镜研究表面活性剂对带电荷的膜表面抗油性能...  CNKI文献

通过在水中加入少量的表面活性剂,可以明显改变油滴表面的状态.油水分离膜的抗油性对过滤实验中的分离效率和薄膜使用寿命有着重要的影响.原子力显微镜(AFM)常用于探索界面的相互作用.本文用一个被油滴(正十六烷)修饰...

胡晓东 韩静... 《纳米技术与精密工程》 2018年01期 期刊

关键词: 抗油性 / 探针修饰 / 表面活性剂 / 黏附力

下载(129)| 被引(1)

基于Linnik型白光显微干涉光谱测量方法  CNKI文献

针对在复杂测量环境下实现薄膜类样品的高精度测量需求,基于白光干涉光谱测量理论,搭建了Linnik型白光显微干涉光谱测量系统,该系统具有较长的工作距离.系统采用5步相移算法实现相位信息的精确提取,通过对绝对距离以及...

郭彤 周勇... 《纳米技术与精密工程》 2017年05期 期刊

关键词: Linnik型 / 白光干涉光谱 / 薄膜 / 非线性相位修正

下载(153)| 被引(3)

微结构低重叠度大范围三维拼接方法  CNKI文献

针对微结构大范围无损测试问题,提出了一种低重叠度的三维结构拼接方法。首先基于实验参数将结构特征提取区域限制在测量过程中的重叠区域,以减少误匹配出现的可能性并提高计算效率;在上述区域内,通过SIFT(scale-inva...

马龙 王丹... 《光电子·激光》 2015年05期 期刊

关键词: 微结构 / 无损检测 / 大范围 / 三维拼接

下载(134)| 被引(4)

基于白光干涉彩色图像的微结构表面形貌测量  CNKI文献

微结构的表面形貌会显著地影响微纳器件的使用性能及产品质量,是微纳测试领域的一个重要研究方面,利用白光干涉技术是测量物体表面形貌的一种常见方法。区别于常用的CCD黑白相机,使用CCD彩色相机采集白光干涉条纹的彩...

郭彤 李峰... 《光学学报》 2014年02期 期刊

关键词: 测量 / 白光干涉 / 表面形貌 / 彩色图像

下载(575)| 被引(21)

基于白光扫描干涉术的非球面光学元件大范围评价方法  CNKI文献

通过白光扫描干涉术研究了用于非球面元件的大范围测量方法并利用纳米测量机(NMM)构建了测量系统。对系统的运行环境进行分析,定量给出了评定结果。在系统环境得以保证的前提下,重点研究了无重叠拼接方法,并将结果进行...

马龙 张鸿燕... 《激光与光电子学进展》 2014年06期 期刊

关键词: 测量 / 大范围评价 / 无重叠拼接 / 白光倾斜扫描干涉术

下载(124)| 被引(2)

海底电缆受船舶锚害风险研究  CNKI文献

电网的稳定运行已成为现代社会经济社会发展的关键因素。海底电缆输电工程是跨海域联网工程建设的重要组成部分,在实现电网国际化、区域电网互联进程中起着重要作用。随着海底电缆线路数量的不断增加,海底电缆在近海...

郭彤 导师:王雪青 天津大学 2013-06-01 硕士论文

关键词: 海底电缆 / 锚害 / 风险评估 / 风险控制

下载(415)| 被引(11)

采用变速白光扫描干涉术测量大尺度台阶结构  CNKI文献

针对传统白光扫描干涉术在对一些垂直尺度较大器件的测试中,存在测量时间长、信号利用率低等问题,本文提出了应用于白光扫描干涉测量的变速扫描策略,并开发了基于预定义模式的变速扫描和基于自动对焦模式的变速扫描两...

郭彤 章英... 《光电子.激光》 2012年08期 期刊

关键词: 白光干涉术 / 大尺度台阶 / 变速扫描 / 纳米测量机(NMM)

下载(121)| 被引(6)

基于白光扫描干涉术的厚膜几何参数测量  CNKI文献

提出了一种结合白光扫描干涉术与图像分割技术的薄膜自动测量方法,可以同时得到薄膜的上下表面形貌以及厚度等几何参数。测试系统集成了Mirau干涉物镜,通过高精度纳米定位器带动物镜实现垂直扫描。当薄膜厚度足够时,扫...

郭彤 王瑞杰... 《光电子.激光》 2011年09期 期刊

关键词: 白光扫描干涉术 / Otsu方法 / 阈值 / 表面形貌

下载(189)| 被引(9)

基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征  CNKI文献

将Carré等步长相移法与白光垂直扫描相结合形成了一种白光等步长相移算法,该方法快速、准确、非接触,垂直分辨力可达亚纳米级.测量系统集成了Mirau显微干涉物镜,并通过高精度压电陶瓷纳米定位器带动物镜进行垂直...

马龙 郭彤... 《纳米技术与精密工程》 2011年01期 期刊

关键词: 微机电系统(MEMS) / 白光相移干涉 / Carré相移算法 / 标准台阶

下载(346)| 被引(10)

基于白光倾斜扫描干涉术的微结构测量方法  CNKI文献

针对白光垂直扫描干涉技术由于测试系统中物镜视场和移相器的行程限制,使其不能进行较大横向范围的测试。本文使用白光倾斜扫描干涉术代替垂直扫描,以扩展其横向测量范围,提高测试效率。基于纳米测量机(NMM)搭建了测试...

马龙 郭彤... 《光电子.激光》 2011年01期 期刊

关键词: 微结构 / 白光干涉技术 / 倾斜扫描 / 大范围

下载(215)| 被引(4)

基于白光干涉无重叠拼接的微结构表征方法  CNKI文献

针对白光干涉技术(WLI)应用于大范围测量时图像重叠拼接会引入误差并降低测量效率这一缺欠,本文基于纳米测量机(NMM)提出了一种无重叠拼接的白光干涉测试方法。利用NMM的高精度定位能力,扩展了普通白光干涉仪的测量范...

郭彤 袁方... 《光电子.激光》 2010年07期 期刊

关键词: 微结构 / 白光干涉技术(WLI) / 无重叠图像拼接 / 大范围

下载(261)| 被引(16)

压电微悬臂梁振动能量采集器谐振频率和功率的研究  CNKI文献

压电振动能量采集器可将自然界中广泛存在的机械振动能转换为电能,并且一直向微型化电源的目标迈进.为此,以矩形压电微悬臂梁结构作为换能单元,通过对压电层等效电流源和单相桥式整流电路的理论及相关公式的推导,得出...

李艳宁 李雯... 《天津大学学报》 2009年04期 期刊

关键词: 压电微悬臂梁 / 微能源 / 振动能量采集 / 谐振频率

下载(757)| 被引(28)

温度变化对微梁谐振频率的影响  CNKI文献

双层材料微梁是一种常见的高灵敏度微梁传感结构,温度变化会使微梁发生弯曲形变并改变微梁的谐振频率.研究了微梁谐振频率与其构成材料的杨氏模量E和热膨胀系数α的关系.以氮化硅上沉积了不同厚度金膜的双层微梁结构为...

李艳宁 赵景... 《天津大学学报》 2008年01期 期刊

关键词: 微梁 / 杨氏模量 / 谐振频率 / 灵敏度

下载(266)| 被引(15)

时间相移显微干涉术用于微机电系统的尺寸表征  CNKI文献

提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上.该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行,具有亚微米级的水平分辨力,垂直分辨力在纳米量级.测量系统采用Mirau显微干涉物镜,利用高性能压电陶...

郭彤 胡春光... 《纳米技术与精密工程》 2008年01期 期刊

关键词: 纳米计量 / 微机电系统 / 相移干涉术 / Hariharan算法

下载(173)| 被引(15)

垂直扫描白光干涉术用于微机电系统的尺寸表征  CNKI文献

随着微机电系统的发展,器件设计和加工过程中的表征成为一个主要问题。提出了将扫描白光干涉表面轮廓测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上。测量系统采用了米劳显微干涉仪,利用压电陶瓷物镜纳米定位器实现垂直方...

郭彤 胡春光... 《光学学报》 2007年04期 期刊

关键词: 光学测量 / 微机电系统 / 扫描白光干涉术 / 包络峰探测算法

下载(339)| 被引(43)

复杂微结构三维形貌测量方法的研究  CNKI文献

微结构三维形貌测量是研究微加工工艺和微尺寸特性的重要测试内容。本文提出一种基于相移显微干涉术、利用干涉图建立二维结构模板指导相位展开的新方法,它不仅适用于静态测量,而且能应用于在动态测量中,特别是微机电...

胡春光 胡晓东... 《光电子·激光》 2006年01期 期刊

关键词: 微结构 / 三维形貌测量 / 相移显微干涉术 / 二维结构模板

下载(422)| 被引(13)

微结构特性的光学测试平台  CNKI文献

微结构是微机电系统的基本元件,其几何尺寸、运动特性、材料及力学特性直接影响微机电系统的整体性能。提出一种将计算机微视觉、米劳显微干涉、频闪成像和激光多普勒测振等技术充分融合的微结构静态和动态特性的光学...

胡晓东 栗大超... 《光学学报》 2005年06期 期刊

关键词: 光学测量 / 微结构动态特性 / 计算机微视觉 / 米劳显微干涉

下载(397)| 被引(26)

利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动  CNKI文献

描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微镜上,用于测量一个表面微加工水平谐振器的三维运动.面内运动取决于亮场在最佳焦平面处...

郭彤 胡春光... 《光子学报》 2005年10期 期刊

关键词: 微机电系统 / Mirau显微干涉仪 / 面内运动 / 离面运动

下载(240)| 被引(19)

利用纳米测量机实现大范围的计量型原子力显微镜  CNKI文献

利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了大范围的计量型AFM,测量范围可以达到25mmⅹ25mmⅹ5mm,分辨力为0.1nm。纳米测量机扩展了普通AFM测头的测量范围,减小了压电扫描器固有特性的影响。运动全范围内的自适应...

郭彤 傅星... 《计量学报》 2005年01期 期刊

关键词: 计量学 / 纳米测量机 / 计量型原子力显微镜 / 激光干涉仪

下载(303)| 被引(20)

基于显微干涉术的微机电系统动态测试方法与系统的研究  CNKI文献

微机电系统(MEMS)测试的主要目的是为科学研究与产品开发中的各个环节提供数据反馈,其中一个重要方面就是MEMS器件三维运动特性的表征。一种基于显微干涉术的计算机控制的动态测试系统被开发,用于MEMS可动部件的离面运...

郭彤 导师:胡小唐 天津大学 2004-12-01 博士论文

关键词: 微机电系统 / 显微干涉术 / 条纹自动分析 / 虚拟仪器

下载(923)| 被引(15)

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