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相关度 学位年度 被引 下载 发表时间 CNKI为你找到相关结果

压电式MEMS压力传感器的设计与工艺研究  CNKI文献

压电式MEMS压力传感器是微器件中应用较广泛的一种,而敏感材料则是传感器技术的关键。所以本文主要的研究内容是微机电系统中的压电式MEMS压力传感器,以具有压电性能的PZT和BiFeO_3为敏感材料,分别利用溶胶-凝胶法和旋...

刘园园 导师:谭晓兰 北方工业大学 2017-05-05 硕士论文

关键词: 压力传感器 / 压电薄膜 / 纳米纤维 / 静电纺丝

下载(1553)| 被引(8)

BiFeO_3纳米纤维压电式压力传感器的研究  CNKI文献

本文主要的研究内容是微机电系统中的微压力传感器,主要是以铁酸铋作为压力敏感材料,利用其压电特性,将通过静电纺丝法制备的纳米纤维与光刻、溅射、干法刻蚀等微加工工艺制备的硅基底片相结合,设计工艺流程并制备了B...

盛伟光 导师:谭晓兰 北方工业大学 2016-05-15 硕士论文

关键词: 压力传感器 / MEMS工艺 / 压电材料 / 纳米纤维

下载(355)| 被引(3)

压电式MEMS传感器的稳健设计研究  CNKI文献

随着微机械加工技术的发展,MEMS传感器的研究受到广泛重视。其中压电式MEMS传感器因可实现多功能化、智能化、集成化和无需辅助电源等优势,有着极高的应用前景。然而MEMS传感器的特征尺寸在纳、微米量级,使得其力学行...

李丰 导师:谭晓兰 北方工业大学 2017-05-05 硕士论文

关键词: MEMS传感器 / 稳健设计 / 压电双晶梁 / 优化设计

下载(418)| 被引(3)

MEMS器件的稳健设计研究  CNKI文献

MEMS器件具有体积小、灵敏度高、能耗低等特点,使其广泛地应用于航天航空、军事、医疗器械、工业自动化、汽车电子等重要领域。随着对MEMS的深入研究,发现MEMS中存在很多问题,影响着MEMS器件的质量特性。本文阐述了现...

韩丽娜 导师:谭晓兰 北方工业大学 2016-05-15 硕士论文

关键词: MEMS器件 / 稳健设计 / 随机模型 / 最优化

下载(162)| 被引(4)

压阻式微压力传感器的研究  CNKI文献

在各种微传感器中,硅微压力传感器作为它的一个重要组成部分,获得了广泛应用,因此研究如何提高传感器的性能有着重要意义,其性能指标主要有灵敏度、线性度、各种动态响应特性。 本文设计了一种压阻式微压力传感器,...

王峰 导师:谭晓兰 北方工业大学 2012-05-25 硕士论文

关键词: 硅微压力传感器 / 灵敏度 / ANSYS仿真 / 线性度

下载(655)| 被引(4)

纳米纤维MEMS压力传感器的性能研究  CNKI文献

本文主要研究的是基于微机电系统(MEMS)的纳米纤维MEMS压力传感器,它具有质量轻,制作简单的特点,可以应用于工业和生活的各个领域,具有很高的研究价值。在传感器的制作过程中,敏感材料的选取非常重要,本文采用锆钛酸铅...

刘扬 导师:谭晓兰 北方工业大学 2018-05-20 硕士论文

关键词: MEMS / 柔性压力传感器 / PZT纳米纤维 / 静电纺丝

下载(311)| 被引(2)

基于石墨烯的MEMS压力传感器的设计与工艺研究  CNKI文献

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)传感器技术因其具有体积小、成本低、可靠性强、易于集成、易于进行批量生产、和易于实现智能化等特点而广泛应用于各个领域。目前的MEMS传感器多运用硅作为基底,硅的材料本身决...

刘宁 导师:谭晓兰 北方工业大学 2019-05-16 硕士论文

关键词: 石墨烯 / 压力传感器 / 电容式传感器 / 柔性传感器

下载(121)| 被引(0)

ZnO压电薄膜压力传感器的研究  CNKI文献

随着科学技术的发展,对传感器功能的要求也越来越高。采用MEMS工艺制作的ZnO压电薄膜压力传感器,具有体积小、易集成、灵敏度和信噪比高等优点。但是复合微悬臂梁式传感器制备工艺较难,各层薄膜工艺存在兼容性问题。本...

张敏亮 导师:谭晓兰 北方工业大学 2012-05-31 硕士论文

关键词: 微压力传感器 / ZnO压电薄膜 / 磁控溅射 / 微机械加工工艺

下载(826)| 被引(3)

压力微传感器性能测试与研究  CNKI文献

在众多的MEMS器件中,应用最为广泛的一种的是硅微压力传感器。而随着传感器的不断发展和应用,与其相应的控制测量技术越来越受到重视,对新一代传感器的要求也越来越高。 本文介绍了一种量程为20Kpa的压阻式微压力传...

佘剑锋 导师:谭晓兰 北方工业大学 2013-06-30 硕士论文

关键词: 压力微传感器 / 工艺流程 / 测试装置 / 实验测试

下载(492)| 被引(6)

基于多铁纳米纤维的压力传感器设计与研究  CNKI文献

基于多铁纳米纤维的压力传感器设计与研究,主要以多铁纳米纤维作为传感器的敏感材料,运用多铁纳米纤维的压电特性,制作完成压电式压力传感器。本文的研究主要分为以下三个方面:一、多铁纳米纤维的压力传感器的总体设...

张久超 导师:谭晓兰 北方工业大学 2015-06-30 硕士论文

关键词: 压力传感器 / 多铁纤维材料 / 压电效应 / 静电纺丝

下载(239)| 被引(4)

压电微传感器悬臂梁结构的优化设计  CNKI文献

随着MEMS技术的快速发展和广泛应用,对微传感器性能的要求也在不断地提高。在MEMS制作工艺不断成熟的情况下,已能够制作出复合材料微悬臂梁结构的压电式微传感器。本文主要对PZT压电微传感器进行灵敏度优化,通过遗传算...

田开云 导师:谭晓兰 北方工业大学 2013-06-30 硕士论文

关键词: 微传感器 / PZT压电材料 / 遗传优化 / Comsol仿真

下载(895)| 被引(4)

微压力传感器的设计与工艺研究  CNKI文献

MEMS器件中,硅微压力传感器是应用最为广泛的一种。随着科学技术的发展,对新一代传感器的要求也越来越高。 本文设计的压阻式微压力传感器量程为20Kpa,主要对传感器进行了结构设计,通过研究微加工工艺,制定了传感...

刘珍妮 导师:谭晓兰 北方工业大学 2011-06-01 硕士论文

关键词: 微压力传感器 / 压敏电阻 / 弹性薄膜 / 微加工工艺

下载(777)| 被引(7)

MEMS压力传感器稳健设计方法研究  CNKI文献

MEMS传感器以硅为材料,采用微机械加工工艺和集成电路制造工艺来制造,实现传感器结构的微小化、集成化。MEMS传感器被广泛应用在工业自动化、航空航天、电子通讯、汽车电子、环境监测、农业、生物医疗、军事等领域。 ...

李佳玮 导师:谭晓兰 北方工业大学 2014-06-30 硕士论文

关键词: 微传感器 / 压阻式压力传感器 / 仿真分析 / 田口方法

下载(628)| 被引(3)

一种多用途粉碎机的设计与研制  CNKI文献

随着经济的发展、人口的不断增多以及人民生活水平的日益提高,城市垃圾的产量日渐增多。如果对垃圾处理不当,可能会造成严重的大气污染、水污染和土壤污染,并将占用大量的土地。为了我们周围的生存环境、子孙后代的利...

张娜 导师:谭晓兰 北方工业大学 2010-12-01 硕士论文

关键词: 粉碎机 / 机械零件设计 / 机械优化设计 / 内点惩罚函数算法

下载(1329)| 被引(4)

PZT纳米纤维压力传感器的稳健设计  CNKI文献

作为MEMS(Micro Electromechanical System,即微机械系统)传感器十分重要的组成部分,MEMS压力传感器广受关注。与传统压力传感器相比,MEMS压力传感器尺寸较小且大多数为批量生产,因此在其生产制造过程中不可避免的将会...

鲍娜娜 导师:谭晓兰 北方工业大学 2019-05-16 硕士论文

关键词: PZT纳米纤维 / MEMS压力传感器 / 稳健设计 / 随机模型

下载(37)| 被引(0)

微传感器的稳健设计原理与方法研究  CNKI文献

MEMS传感器主要以硅半导体为材料,通过集成电路的制造工艺和微机械的加工工艺制造,使得传感器结构的集成化、微小化。MEMS传感器已经被广泛应用于航空航天、军事、工业自动化、汽车电子、电子通讯、农业、环境监测、生...

康杰 导师:谭晓兰 北方工业大学 2015-06-30 硕士论文

关键词: 微传感器 / 容差模型 / 随机模型 / 模糊模型

下载(177)| 被引(3)

凸轮机构的稳健设计方法研究  CNKI文献

机械产品不断向速度更高、载重更大、设备的制造更加精密以及产品日益向微型化的方向发展,这对凸轮机构的设计亦提出了越来越多的要求。它不但要求凸轮机构具有良好的运动学和动力学传动质量,并且还需要具有良好的性能...

常涛 导师:谭晓兰 北方工业大学 2009-05-20 硕士论文

关键词: 稳健设计 / 凸轮机构 / 分析模型 / 建立模型

下载(459)| 被引(4)

基于多铁纳米纤维的压力传感器设计与工艺研究  CNKI文献

压电式压力传感器是MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)器件中应用广泛的一类,其敏感材料多为块体和薄膜。与块体和薄膜相比,悬空的多铁纳米复合纤维具有很大的长径比,可以将由压电效应引起的位移放大,从而有可能...

汪海涛 导师:谭晓兰 北方工业大学 2014-06-30 硕士论文

关键词: 微压力传感器 / 多铁纤维材料 / 静电纺丝 / 压电效应

下载(147)| 被引(2)

计算机硬盘磁头的微加工工艺研究  CNKI文献

随着科学技术的发展,MEMS已成为当今的重要发展方向。实现MEMS和利用MEMS的重要途径之一就是微加工技术。本文主要对微加工技术中的光刻技术和ICP刻蚀技术进行了实验研究,并通过微加工实验加工出具有二级台阶的硬盘磁...

张宏坤 导师:谭晓兰 北方工业大学 2010-06-01 硕士论文

关键词: 光刻 / ICP刻蚀 / 交替复合深刻蚀 / 二级台阶刻蚀

下载(199)| 被引(3)

计算机硬盘磁头滑块的稳健设计研究  CNKI文献

计算机硬盘数据的读写操作是根据电磁反应原理,由记录数字子信息的磁介质(磁盘)和面向磁介质带有沟槽的小电磁体(磁头)的相对运动来完成的。由于磁盘的高速旋转使磁头和磁盘间隙中产生高速气流,该气流称为空气轴承,它...

乔宁 导师:谭晓兰 北方工业大学 2010-06-01 硕士论文

关键词: 磁头滑块 / 稳健设计 / 优化设计 / 气膜压强

下载(118)| 被引(3)

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