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    微纳测量机测头弹性结构的参数设计  CNKI文献

    根据微纳米三坐标测量机对测头各项指标的要求,提出了4种测头弹性结构的设计方案。通过力学分析建立测头弹性结构三维刚度模型,应用有限元分析软件ANSYS分别对4种弹性结构的刚度进行仿真计算;然后,分析讨论了4种弹性结...

    陈晓怀 陈贺... 《光学精密工程》 2013年10期 期刊

    关键词: 坐标测量机 / 微纳米测量 / 接触扫描测头 / 弹性结构设计

    下载(118)| 被引(11)

    微纳米测量机工作台的结构及性能分析  CNKI文献

    对微纳米测量机新型工作台进行了结构及静、动态性能分析。比较了不同结构的X、Y工作台的静态变形和刚度;对三维工作台进行了模态和谐响应分析,得到振动频率和振动位移。分析表明:合理的结构设计能够减小工作台的变形...

    陈贺 陈晓怀 《组合机床与自动化加工技术》 2012年11期 期刊

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    一种基于DVD读取头的非接触触发探头  CNKI文献

    文章提出了一种基于DVD原理的非接触光学聚焦探头,它由商用DVD读取头改装而成,已经完成设计与制作。实验结果表明,此非接触探头分辨率优于1nm,测量重复性可达12nm。目前此非接触触发探头已应用于纳米三坐标测量机上。

    高伟 陈晓怀... 《现代显示》 2012年12期 期刊

    关键词: DVD光学读取头 / 非接触探头 / 纳米三坐标测量机

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