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    AlCrTaTiZrN_x高熵合金纳米涂层的微观组织和力学性能研究  CNKI文献

    通过热压方法制备AlCrTaTiZr高熵合金合金靶材,采用磁控溅射方法在抛光后Si基体表面制备AlCrTaTiZrNx高熵合金涂层,并用扫描电镜、X射线衍射和纳米压痕仪等研究了靶成分、相结构及涂层的微观形貌、成分和常规力学性能...

    王馨 汪龙... 《热加工工艺》 2015年16期 期刊

    关键词: 高熵合金 / 磁控溅射 / 纳米涂层 / 非晶晶化

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    Al_(0.3)CrFe_(1.5)MnNi_(0.5)高熵合金氮化物薄膜的微观结...  CNKI文献

    采用反应磁控溅射法制备了Al0.3CrFe1.5MnNi0.5高熵合金氮化物薄膜,分析了不同氮气含量反应下薄膜的微观结构,并考察了薄膜的摩擦磨损性能。结果表明:溅射时氮含量(RN)为0%时,薄膜为体心立方结构,RN为10%时,氮化物镀层...

    王馨 孙勇毅... 《热加工工艺》 2015年12期 期刊

    关键词: 高熵合金 / 氮化物薄膜 / 磁控溅射 / 微观结构

    下载(480)| 被引(6)

    基板偏压对Al_(0.3)CrFe_(1.5)MnNi_(0.5)高熵合金氮化物薄...  CNKI文献

    高熵合金氮化物薄膜性能优异,目前国内对Al0.3Cr Fe1.5Mn Ni0.5高熵合金的研究主要是对块体,对薄膜研究较少。采用直流磁控溅射技术在硅片上沉积了Al0.3Cr Fe1.5Mn Ni0.5高熵合金氮化物薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫...

    李荣斌 蒋春霞... 《材料保护》 2016年09期 期刊

    关键词: 高熵合金 / 基板偏压 / 晶体结构 / 硬度

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