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    氧化物-金属-氧化物(Oxide-Metal-Oxide,OMO)透明导电薄膜结构与单层透明导电氧化物(TCO)薄膜相比,具有很多优点:降低薄膜整体厚度,增加柔韧性,利于工业化生产,薄膜稳定性好等。但由于金属层的加入,薄膜的导电性和透光...

    邢士龙 导师:闵光辉 山东大学 2017-05-12 硕士论文

    关键词: 反应磁控溅射 / 柔性基底 / 透明导电薄膜 / 微氧化

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    采用反应磁控溅射法,通过控制中间层沉积时的氧气流量,在聚对苯二甲酸乙二醇酯基底上制备了ZnO/Al(O)/ZnO薄膜,研究了氧气流量对Al(O)薄膜的微观形貌、表面粗糙度,以及对ZnO/Al(O)/ZnO薄膜光学和电学性能的影响。结果...

    邢士龙 闵光辉... 《机械工程材料》 2018年08期 期刊

    关键词: 反应磁控溅射 / ZnO/Al(O)/ZnO薄膜 / 氧掺杂 / 氧气流量

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