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高性能MEMS惯性器件工程化关键技术研究 CNKI文献
MEMS惯性技术的发展把基于旋转和非旋转的惯性器件从宏观概念向微观世界推进了一大步。近年来,特别是微纳加工技术与振动惯性技术的有机结合使惯性仪表技术发生了重大的变革,因而大大拓展了惯性技术在军用和民用领域中...
邢朝洋 导师:王巍 中国航天科技集团公司第一研究院 2017-03-30 博士论文
关键词: 微机电系统 / 陀螺仪 / 加速度计 / 结构设计
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